エンジニアリングプラスチック：半導体製造におけるクリーンルームグレードの材料アプリケーション

July 24, 2024

半導体製造におけるクリーンルームグレードの材料の適用は、半導体製品の品質と性能を確保するための重要な要因の1つです。クリーンルームは、半導体デバイスの汚染を防ぐために、粒子状物質、化学汚染物質、微生物の存在を最小限に抑えるために設計された高度に制御された環境です。以下は、半導体製造におけるクリーンルームグレードの材料の主な用途です。

建材。

壁、天井、床は、ステンレス鋼、アルミニウム合金、エポキシ床、PVCまたはTPOの壁の覆いで作られています。

家具と機器。

腐食耐性があり、クリーニングがかったステンレス鋼または特別にコーティングされたアルミニウム合金は、ワークステーション、ロッカー、転送窓、自動化機器に使用されます。

衣類とアクセサリー。

きれいなスーツ、手袋、靴のカバー、マスクは、人間で生成された粒子や微生物からの汚染を防ぐために、ほこりのない材料で作られています。

ろ過システム。

HEPAおよびULPAフィルターが使用され、多くの場合、高性能ガラス繊維でできています。

化学物質と溶媒。

多くの場合、汚染を防ぐために特別な容器に包装されている高純度化学物質と溶媒があります。

ツールと供給。

ワイプ、ローラー、ピンセット、テープは、粒子状または化学的汚染を生成しないように特別に設計されています。

監視および制御システム。

温度と湿度の制御、粒子カウンター、化学的汚染モニターは、精度と信頼性を確保するために高品質の材料から作られています。クリーンルームグレードの材料を選択するときは、次の要因を検討してください。

粒子生成：粒子や粒子を生成してはいけません。化学物質の安定性：クリーンルームで使用される化学物質や溶媒に対する耐性

熱安定性：クリーンルームの温度と湿度の状態で安定したままにする能力

機械的強度：適切な強度と耐久性

クリーニングの容易さ：これらのクリーンルームグレードの材料を使用して清潔さを維持するために簡単に清掃して消毒することができます。半導体メーカーは、生産環境が非常にきれいであり、これらのクリーンルームグレードを使用して高品質の半導体製品が生産されるようにすることができます。材料、半導体メーカーは、非常にクリーンな生産環境を確保し、高品質の高性能半導体製品を生産することができます。

半導体業界で一般的に使用されるエンジニアリングプラスチックの主なタイプには、それぞれが独自の特性とアプリケーション領域を備えています。

ポリアミド（ペンシルベニア州ナイロン）：

用途：ナイロンは、高強度、耐摩耗性、良好な耐薬品性により、備品、ブラケット、ギアなどの半導体機器の構造部品の製造に一般的に使用されます。

ポリカーボネート（PC）：

用途：PCは優れた衝撃強度と透明性を持ち、一般的に、視聴や観測窓などの高い透明性と高強度を必要とする部品の製造に使用されます。

ポリオキシメチレン（POM、SAI Steelとしても知られています）：

用途：POMは良好な剛性と耐摩耗性を持ち、ギア、ベアリング、スライドなどの精密部品の製造に適しています。

ポリエチレンテレフタレート（PET）：

用途：PETには良好な電気断熱と耐薬品性があり、電子部品用の絶縁材料と包装材料の製造に一般的に使用されています。

ポリフェニレン硫化物（PPS）：

用途：PPSは優れた高温抵抗と化学的安定性を持ち、ヒーターやバルブなどの高温環境で使用される半導体機器コンポーネントの製造に適しています。

ポリエーテルケトン（ピーク）：

用途：Peekには、非常に高い熱と耐薬品性、および優れた機械的特性があり、ハイエンドの半導体機器、精密部品、高温耐性部品の製造に一般的に使用されています。

ポリテトラフルオロエチレン（PTFE、テフロンとしても知られています）：

用途：PTFEは優れた耐薬品性と摩擦係数が低く、シール、ガスケット、耐食耐性配管の製造に一般的に使用されています。

ポリメチルメタクリレート（PMMA、プレキシガラスとしても知られています）：

用途：PMMAには透明性と気象抵抗が良好であり、一般に、窓、光学成分の視聴、光学コンポーネントの製造に使用されます。半導体業界でのこれらのエンジニアリングプラスチックの適用は、機器のパフォーマンスと信頼性を向上させるだけでなく、生産コストを削減し、半導体技術の開発を促進します。

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